·Î±×ÀÎ
¸¶ÀÌÆäÀÌÁö
±¤°í¾È³»
°í°´¼¾ÅÍ
±â»çÁ¦º¸
GNB
Portrait Fan Art
¾îµð°¥±î
´º½º
¿¬¿¹
Æ÷Åä´º½º
Ä¿¹Â´ÏƼ
±â»çÁ¦º¸
Àüüº¸±â
Portrait Fan Art
Art News
Art Gallery
¾îµð°¥±î
¼¿ï
ÀÎõ
´ëÀü
´ë±¸
ºÎ»ê
±¤ÁÖ
¿ï»ê
°æ±âµµ
°æ»óµµ
°¿øµµ
Ãæûµµ
Àü¶óµµ
Á¦ÁÖµµ
ÇØ¿Ü
´º½º
¹®È/»ýÈ°
IT/°úÇÐ
¿¬¿¹
¹æ¼Û
¿µÈ
¿¬¿¹ÀϹÝ
Æ÷Åä´º½º
Å׸¶Æ÷Åä
ÈÁ¦ÀÇÆ÷Åä
Portrait Fan Art
Art Gallery
´º½º
¹®È/»ýÈ°
¿¬¿¹
¹æ¼Û
¿µÈ
¿¬¿¹ÀϹÝ
Ä¿¹Â´ÏƼ
ÀÚÀ¯°Ô½ÃÆÇ
À¯¸Ó
ÈĹæÁÖÀÇ
¸¶ÀÌÆäÀÌÁö
·Î±×ÀÎ
°í°´¼¾ÅÍ
°í°´Áö¿ø¼¾ÅÍ
Á¦ÈÞ ¹× ±¤°í¹®ÀÇ
±â»çÁ¦º¸
Ȩ
¾îÇöóÀÌµå ¸ÓƼ¾î¸®¾óÁî, ÄÄÇ»Æà ȿÀ² ³ôÀΠĨ ¹è¼± Çõ½Å ¹ßÇ¥
¾÷°è ÃÖÃÊ ¾ç»ê °úÁ¤¿¡ ·çÅ×´½ È°¿ë¡¦ ±¸¸® Ĩ ¹è¼± 2³ª³ë ÀÌÇÏ·Î ½ºÄÉÀϸµ ¹× ÃÖ´ë 25% ÀúÇ× °¨¼Ò
2024.10.14 13:35 ÀÔ·Â
¼º³²--(
´º½º¿ÍÀ̾î
)--Àü ¼¼°è ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹À̸¦ À§ÇÑ Àç·á°øÇÐ ¼Ö·ç¼Ç ¼±µµ ±â¾÷ ¾îÇöóÀÌµå ¸ÓƼ¾î¸®¾óÁî(
www.appliedmaterials.com/ko
)°¡ °¡ 2³ª³ë(nm) ·ÎÁ÷ ³ëµå ÀÌÇÏ·Î ±¸¸® ¹è¼± ½ºÄÉÀϸµÀ» °¡´ÉÄÉ ÇÔÀ¸·Î½á ÄÄÇ»ÅÍ ½Ã½ºÅÛ ¿ÍÆ®´ç ¼º´ÉÀ» ³ôÀÌ´Â Àç·á°øÇÐ Çõ½ÅÀ» ¹ßÇ¥Çß´Ù.
Çâ»óµÈ ºí·¢ ´ÙÀ̾Ƹóµå
ÇÁ¶óºÎ ¶óÀÚ(Dr. Prabu Raja) ¾îÇöóÀÌµå ¸ÓƼ¾î¸®¾óÁî ¹ÝµµÃ¼ Á¦Ç°±×·ì »çÀåÀº ¡°AI ½Ã´ë¿¡´Â ¿¡³ÊÁö È¿À²ÀÌ ´õ¿í ³ôÀº ÄÄÇ»ÆÃÀÌ ¿ä±¸µÇ°í, ¼º´É ¹× Àü·Â ¼Òºñ¿¡¼ Ĩ ¹è¼±°ú ÀûÃþÀÌ ¸Å¿ì Áß¿äÇÏ´Ù¡±¸ç ¡°¾îÇöóÀ̵å ÃֽŠÅëÇÕ Àç·á ¼Ö·ç¼ÇÀº ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°è°¡ ÀúÀúÇ× ±¸¸® ¹è¼±À» ¿Ë½ºÆ®·Ò(Angstrom) ³ëµå·Î ½ºÄÉÀϸµÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ÇÑ´Ù. ¶ÇÇÑ ¾îÇöóÀ̵åÀÇ ÃֽŠ·Î¿ìk(low-k) À¯Àüü(dielectric)´Â Á¤Àü¿ë·®(capacitance)À» ³·Ãß°í ĨÀ» °ÈÇØ 3D ÀûÃþÀÇ Â÷¿øÀ» ³ôÀδ١±°í ¸»Çß´Ù.
¹«¾îÀÇ ¹ýÄ¢ ¹°¸®Àû ½ºÄÉÀϸµ °úÁ¦ ±Øº¹
¿À´Ã³¯ ÃÖ÷´Ü ·ÎÁ÷ Ĩ¿¡´Â ¼ö¹é¾ï °³ Æ®·£Áö½ºÅÍ°¡ 96ų·Î¹ÌÅÍ ÀÌ»óÀÇ ¹Ì¼¼ÇÑ ±¸¸® ¹è¼±À¸·Î ¿¬°áµÅ ÀÖ´Ù. Ĩ ¹è¼±ÀÇ °¢ Ãþ(layer)Àº ±¸¸®·Î ä¿öÁø ä³ÎÀ» ¸¸µé±â À§ÇØ ½Ä°¢µÈ À¯Àüü ¹Ú¸·À¸·Î ½ÃÀ۵ȴÙ. ·Î¿ìk À¯Àüü¿Í ±¸¸®´Â Áö³ ¼ö½Ê ³â°£ ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°è¿¡¼ ÁÖ·Î »ç¿ëµÈ Á¶ÇÕÀ¸·Î ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶»çµéÀÌ °¢ ¼¼´ë¿¡¼ ½ºÄÉÀϸµ, ¼º´É, Àü·Â È¿À²À» ³ôÀÌ´Â µ¥ Å« ¿ªÇÒÀ» ÇØ¿Ô´Ù.
±×·¯³ª ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°è°¡ 2³ª³ë ÀÌÇÏ·Î ½ºÄÉÀϸµÇÔ¿¡ µû¶ó Àý¿¬Ã¼°¡ ¾ã¾ÆÁö¸é¼ ĨÀÌ ¹°¸®ÀûÀ¸·Î ¾àÇØÁ³´Ù. ±¸¸® ¹è¼±ÀÇ ÆøÀÌ Á¼¾ÆÁö¸é Àü±â ÀúÇ×ÀÌ °¡Æĸ£°Ô Áõ°¡ÇØ Ä¨ ¼º´ÉÀÌ ÀúÇϵǰí Àü·Â ¼Òºñ·®Àº Áõ°¡ÇÑ´Ù.
Çâ»óµÈ ·Î¿ìK À¯Àüü¡¦ ÀÎÅÍÄ¿³Ø¼Ç 3D ÀûÃþÀ» À§ÇØ ÀúÇ× ³·Ãß°í Ĩ °È
¾îÇöóÀ̵åÀÇ ¡®ºí·¢ ´ÙÀ̾Ƹóµå(Black Diamond)¡¯ ¼ÒÀç´Â Àü·Â ¼Òºñ¸¦ ³ôÀÌ°í Àü±â ½ÅÈ£ °£ °£¼·À» ÃÊ·¡ÇÏ´Â ÀüÇÏÀÇ ÃàÀûÀ» ³·Ãß±â À§ÇØ ¿£Áö´Ï¾î¸µ µÈ ³·Àº À¯Àü»ó¼ö ¶Ç´Â À¯ÀüÀ²(k-value) ¹Ú¸·À¸·Î ±¸¸® ¹è¼±À» °¨½Î´Â ¹æ½ÄÀ» Àû¿ëÇØ, ¼ö½Ê ³â°£ ¾÷°è¸¦ ¼±µµÇØ ¿Ô´Ù.
¾îÇöóÀ̵å´Â ¡®
ÇÁ·Îµà¼(Producer) ºí·¢ ´ÙÀ̾Ƹóµå PECVD
¡¯ Á¦Ç°±º¿¡¼ °¡Àå ÃÖ½ÅÇüÀÎ ºí·¢ ´ÙÀ̾Ƹóµå Çâ»óµÈ ¹öÀüÀ» ¹ßÇ¥Çß´Ù. ÀÌ ½Å¼ÒÀç´Â ÃÖ¼Ò À¯ÀüÀ²À» ³·Ãç 2³ª³ë ÀÌÇÏÀÇ ½ºÄÉÀϸµÀ» °¡´ÉÄÉ ÇÑ´Ù. ¶ÇÇÑ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶»ç ¹× ½Ã½ºÅÛ ¾÷ü°¡ 3D ·ÎÁ÷°ú ¸Þ¸ð¸® ÀûÃþÀÇ Â÷¿øÀ» ³ôÀÌ´Â µ¥ ÀÖ¾î ¸Å¿ì Áß¿äÇØÁø Çâ»óµÈ ±â°èÀû °¼ºÀ» Á¦°øÇÑ´Ù.
¡Ø PECVD (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition, ÇöóÁ°ÈÈÇбâ»óÁõÂø)
ÃֽŠºí·¢ ´ÙÀ̾Ƹóµå ±â¼úÀº ÇöÀç ¸ðµç ·ÎÁ÷ ¹× D·¥ ¹ÝµµÃ¼ ¼±µµ ±â¾÷µéÀÌ Ã¤ÅÃÇÏ°í ÀÖ´Ù.
»õ·Î¿î ÀÌ¿ø ±Ý¼Ó ¶óÀ̳ʷΠÃʹڸ· ±¸¸® ¹è¼± ±¸Çö
¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶»çµéÀº Ĩ ¹è¼± ½ºÄÉÀϸµÀ» À§ÇØ ·Î¿ìk ¹Ú¸·ÀÇ °¢ ÃþÀ» ½Ä°¢ÇØ Æ®·»Ä¡(trench)¸¦ »ý¼ºÇÏ°í, ±¸¸®°¡ ĨÀ¸·Î À¯ÀԵŠ¼öÀ² ¹®Á¦¸¦ ÃÊ·¡ÇÏ´Â °ÍÀ» ¹æÁöÇÏ´Â ¹è¸®¾î(barrier) ÃþÀ» ÁõÂøÇÑ´Ù. ÀÌ ¹è¸®¾î´Â ÃÖÁ¾ ÁõÂø °øÁ¤ Áß Á¢Âø·ÂÀ» º¸ÀåÇÏ´Â ¶óÀ̳Ê(liner)·Î ÄÚÆà ó¸®ÇÑ´Ù.
¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶»çµéÀÌ ¹è¼±À» Ãß°¡·Î ½ºÄÉÀϸµÇÔ¿¡ µû¶ó ¹è¸®¾î¿Í ¶óÀ̳ʰ¡ ¹è¼±¿¡¼ Â÷ÁöÇÏ´Â ºÎÇÇÀÇ ºñÀ²ÀÌ ³ô¾ÆÁ³´Ù. ÀÌ¿¡ ³²Àº °ø°£¿¡ °ø±Ø(void) ¹ß»ý ¾ø´Â ÀúÀúÇ× ±¸¸® ¹è¼± »ý¼ºÀº ¹°¸®ÀûÀ¸·Î ºÒ°¡´ÉÇÏ´Ù.
¾îÇöóÀÌµå ¸ÓƼ¾î¸®¾óÁî´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶»çµéÀÌ ±¸¸® ¹è¼±À» 2³ª³ë ³ëµå ÀÌÇÏ·Î ½ºÄÉÀϸµÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï 6°³ ±â¼úÀ» ÇϳªÀÇ °íÁø°ø ½Ã½ºÅÛ¿¡ Á¶ÇÕÇÑ ÃֽŠIMS (ÅëÇÕ Àç·á ¼Ö·ç¼Ç) ¹ßÇ¥Çß´Ù. ¾÷°è ÃÖÃÊ ·çÅ×´½°ú ÄÚ¹ßÆ®(RuCo)ÀÇ ÀÌ¿ø(binary) ±Ý¼Ó Á¶ÇÕÀº ¶óÀ̳ÊÀÇ µÎ²²¸¦ ÃÖ´ë 33%ÀÎ 2³ª³ë±îÁö Ãà¼ÒÇÑ´Ù. °ø±Ø ¾ø´Â ±¸¸® ¸®Ç÷Î(reflow)¸¦ À§ÇÑ Ç¥¸é ¹°¼ºÀ» °³¼±ÇÏ°í Àü±â ¹è¼± ÀúÇ×À» ÃÖ´ë 25%±îÁö ³·Ãç Ĩ ¼º´É°ú Àü·Â ¼Òºñ¸¦ °³¼±ÇÑ´Ù.
º¼Å¸ ·çÅ×´½ CVD ±â¼úÀÌ Àû¿ëµÈ ¾îÇöóÀ̵åÀÇ »õ·Î¿î ¡®¿£µà¶ó ÄíÆÛ ¹è¸®¾î ¾¾µå IMS (Endura Copper Barrier Seed IMS)¡¯´Â ¸ðµç ¼±µµ ·ÎÁ÷ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶»ç°¡ äÅÃÇØ 3³ª³ë·Î °í°´ ÃâÇϸ¦ ½ÃÀÛÇß´Ù. ±â¼ú¿¡ ´ëÇÑ ÀÚ¼¼ÇÑ ¼³¸í°ú ¿µ»óÀº
¾îÇöóÀ̵å À¥»çÀÌÆ®
¿¡¼ È®ÀÎÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
¡Ø CVD (Chemical Vapor Deposition, ÈÇбâ»óÁõÂø)
±è¼±Á¤ »ï¼ºÀüÀÚ ÆÄ¿îµå¸® °³¹ßÆÀ »ó¹«´Â ¡°ÆÐÅÍ´× ¹ßÀüÀÌ ¼ÒÀÚÀÇ Áö¼ÓÀûÀÎ ½ºÄÉÀϸµÀ» °ßÀÎÇÏ°í ÀÖÁö¸¸ ÀÎÅÍÄ¿³ØÆ® ¹è¼± ÀúÇ×, Á¤Àü¿ë·®, ½Å·Ú¼º µî Ç®¾î¾ß ÇÒ °úÁ¦°¡ ³²¾Æ ÀÖ´Ù¡±¸ç ¡°»ï¼ºÀº ÀÌ ¹®Á¦µéÀ» ÇØ°áÇϱâ À§ÇØ ½ºÄÉÀϸµÀÇ ÀÌÁ¡À» °¡Àå Áøº¸ÇÑ ³ëµå±îÁö È®´ëÇÏ´Â ´Ù¾çÇÑ Àç·á °øÇÐ Çõ½ÅÀ» äÅÃÇÏ°í ÀÖ´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.
¹ÌÀ§Á¦(Y.J. Mii) TSMC ¼ö¼® ºÎ»çÀå °â °øµ¿ ÃÖ°í¿î¿µÃ¥ÀÓÀÚ(COO)´Â ¡°AI ÄÄÇ»ÆÃÀÇ Áö¼Ó °¡´ÉÇÑ ¼ºÀåÀ» À§ÇØ ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°è´Â ¿¡³ÊÁö È¿À²ÀûÀÎ ¼º´ÉÀ» ȹ±âÀûÀ¸·Î °³¼±ÇØ¾ß ÇÑ´Ù¡±¸ç ¡°ÀÎÅÍÄ¿³ØÆ® ÀúÇ×À» ³·Ãß´Â ½Å¼ÒÀç´Â ´Ù¸¥ Çõ½Å°ú ÇÔ²² Àü¹ÝÀûÀÎ ½Ã½ºÅÛ ¼º´É°ú Àü·ÂÀ» °³¼±ÇÏ¸ç ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷¿¡¼ Áß¿äÇÑ ¿ªÇÒÀ» ÇÒ °Í¡±À̶ó°í ¹àÇû´Ù.
¹è¼± ºÐ¾ß ¾îÇöóÀÌµå ±âȸ È®´ë
7³ª³ë¿¡¼ 3³ª³ë ³ëµå·Î ÀüȯµÊ¿¡ µû¶ó ÀÎÅÍÄ¿³ØÆ® ¹è¼± °øÁ¤ ±Ô¸ð´Â ¾à 3¹è·Î Ä¿Á³´Ù. ÀÌ¿¡ µû¶ó ¹è¼± ºÐ¾ß¿¡¼ ¾îÇöóÀÌµå ½ÃÀå ÀáÀç·ÂÀº ±×¸°ÇÊµå ¿ë·® ±âÁØ 10¸¸ WSPM (Wafer-Starts-per-Month)´ç 10¾ï´Þ·¯ ÀÌ»óÀ¸·Î È®´ëµÇ¸ç, ÃÑ 60¾ï´Þ·¯·Î Áõ°¡Çß´Ù. ÇâÈÄ ÈĸéÀü·Â°ø±Þ µµÀÔÀ¸·Î ¹è¼± ºÐ¾ß ¾îÇöóÀ̵åÀÇ ½ÃÀå ÀáÀç·ÂÀº 10¸¸ WSPM´ç 10¾ï´Þ·¯±îÁö Ãß°¡ È®´ëµÇ¸é¼ ÃÑ 70¾ï´Þ·¯·Î ¿¹»óÇÑ´Ù.
À¥»çÀÌÆ®:
http://www.appliedmaterials.com/ko
ÇÁ¸°Æ®
|
¸ÞÀϺ¸³»±â
|
½ºÅ©·¦
½Ç¸®ÄÜ·¦½º, IoTÀÇ Áøȸ¦ °ßÀÎÇÏ´Â ¡®½Ã¸®Áî 3¡¯ Ç÷§Æû ¹ßÇ¥
¸¶¿ìÀú ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð½º, Â÷·®¿ë °íÈÖµµ ÇÁ·ÎÁ§Å͸¦ À§ÇÑ TIÀÇ DLP5532PROJHBQ1EVM Æò°¡ ¸ðµâ °ø±Þ
ÁÖ¿ä´º½º
¿¡À̼ö½º, AMD ¶óÀÌÁ¨ 9000 ½Ã¸®Á Áö¿øÇÏ´Â X870E¡¤X870 ½Ã¸®Áî ¸ÞÀκ¸µå Ãâ½Ã
»ï¼ºÀüÀÚ ¡®°¶·°½Ã Z Æúµå6¡¤Z Çø³6¡¯ »çÀüÆǸŠ½Ç½Ã
ÀÌÀç¿ë »ï¼ºÀüÀÚ È¸Àå, ¸ÞŸ¡¤¾Æ¸¶Á¸¡¤Ä÷ÄÄ µî ºòÅ×Å© CEO¿Í ¿¬¼â ȸµ¿
ȯ»óÀûÀÎ ¾ÆÆ® ´©µå Ⱥ¸! °¨°¢ÀûÀÎ »çÁø °ø°³ 🌟
ÀÌÀç¿ë ȸÀå, ¼¼°è ÃÖ´ë ÀÌÅë»ç ¹Ì±¹ ¹ö¶óÀÌÁð ¹ÌÆÃ
¹öºíÅÇ, ¹«·á ¿¬Àç À¥¼Ò¼³µµ ¼öÀÍÀ» âÃâ°¡´ÉÇÑ ¡®¹öºí¾÷¡¯ ¿ÀÇÂ
üÀÎÆÄÆ®³Ê½º, »ù ¿ÃÆ®¸ÕÀÇ ¡®¿ùµåÄÚÀΡ¯ ±¹³»¿¡ ¾Ë¸°´Ù
»ï¼ºÀüÀÚ, °¶·°½Ã S24 ½Ã¸®Áî °ø°³
Chaired by His Highness the Minister of Foreign Affairs, High-level Delegation From Saudi Arabia to Participate in World Econ
Quectel Issues Further Cease and Desist Notice to Competitors for Unfair and Deceptive Business Practices
ÀÌÀüÆäÀÌÁö·Î
|
À§·Î
ÈÁ¦ÀÇ
Æ÷Åä
¿À´ÃÀÇÈÁ¦
(¿©ÀÚ)¾ÆÀÌµé ¼Ò¿¬, Å¥ºê¿Í Àç°è¾à ºÒ
°¡¼ö Á¦½Ã, 2Â÷ »ç°ú¹® ¹ßÇ¥¡¦ "ÇÇÇØÀÚ
ÃÖµ¿¼®, ÀÌÈ¥ ¼Ò¼Û Áß ¹ÚÁöÀ± ¸íÀÇ ¾Æ
Áöµå·¡°ï, 7³â 4°³¿ù ¸¸¿¡ °¡¿ä°è ÄĹé
TVÁ¶¼± 'ÀÌÁ¦ È¥ÀÚ´Ù', ÀÌ»ó¾Æ¡¤ÃÖµ¿¼®
ÀÌ°÷À» ÅëÇØ ¹®ÀÚ¸¦ ³²°ÜÁֽøé, ¼º½É¼ºÀDz¯ »ó´ãÇص帮µµ·Ï ÇÏ°Ú½À´Ï´Ù.
¿¬¶ôó
¼º¡¡ÇÔ
¸ÞÀϺ¸³»±â
¾îÇöóÀÌµå ¸ÓƼ¾î¸®¾óÁî, ÄÄÇ»Æà ȿÀ² ³ôÀΠĨ ¹è¼± Çõ½Å ¹ßÇ¥
º¸³»´ÂºÐ
º¸³»´ÂºÐ À̸ÞÀÏ
¹Þ´ÂºÐ À̸ÞÀÏ
³»¿ë
º¸³»±â
Ãë¼Ò
°³ÀÎÁ¤º¸Ã³¸®¹æħ
|
ȸ¿ø¾à°ü
|
°í°´Áö¿ø¼¾ÅÍ
|
Á¦ÈÞ ¹× ±¤°í¹®ÀÇ
|
±¤°í¾È³»
|
ÀúÀ۱Ǿȳ»
|
±â»çÁ¦º¸
|
´ÙÀÌ·ºÆ®°áÁ¦
ÆÒŬ·´´º½ºÀÇ ¸ðµç ÄÜÅÙÃ÷(±â»ç)´Â ÀúÀ۱ǹýÀÇ º¸È£¸¦ ¹Þ´Â ¹Ù, ¹«´ÜÀüÀç, º¹»ç, ¹èÆ÷ µîÀ» ±ÝÇÕ´Ï´Ù.
Copyright by
FANCLUBNEWS
Co., Ltd. All Rights Reserved